苏州超徕精工科技有限公司

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Φ485超精密陶瓷基盘
价格:
580.00
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超精密氧化铝陶瓷平面基盘

φ485-600mm陶瓷

加工过程中采用200mm口径632.8nm波长激光平面干涉仪检测并反馈至加工参数,最终可以控制平面度小于1um

性能指标
数值范围
平面度
≤1um
表面粗糙度
Ra0.02
厚度公差
±0.01mm
直径公差
±0.01mm
平行度公差
≤3um


    


平面度检测方式

1. 根据激光干涉仪光栅检测整面各区域干涉图。

    


2、根据各区域干涉图计算面形。

   

φ100~360mm陶瓷

加工过程中采用204mm口径数字激光平面干涉仪检测并反馈至加工参数,最终可以控制平面度小于0.3um


平面度检测方式

    1. 根据激光干涉仪光栅检测整面各区域干涉图。

    


2根据各区域干涉图计算面形。PV=0.6um




    


详情请咨询 18550276116 宁学中