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日本电子 JEOL JSM-it100 扫描电子显微镜
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仪器型号: 日本电子 JEOL JSM-IT100 测量范围: X: 80 mm; Y: 40 mm; Z: 5 mm ~ 48 mm; 倾斜: -10°~﹢90°; 旋转: 360°
工件尺寸: 最大直径150 mm 分辨率: HV模式:3~8 nm;LV模式:4~5 nm
放大倍数: 5 ~ 300000

扫描电子显微镜(英语:Scanning Electron Microscope,缩写为SEM),简称扫描电镜,是一种电子显微镜,其通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像,可进行IC器件、芯片、微结构、细胞等微小尺寸物品的表面测绘。公司现有日本电子公司JEOL JSM-IT100显微镜分辨率高达3 nm,可以实现5~300000倍的放大,工件台范围达到80 mm (X) × 40 mm(Y) × 5~48 mm(Z),倾斜范围为-10° ~ 90°,可实现360°旋转;最大可放置直径Φ150 mm的工件。可输出BMPTIFF以及JPEG多种文件格式。


在扫描电子显微镜中,电子与样品中的原子相互作用,产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。电子束通常以光栅扫描图案扫描,并且光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。


最常见的扫描电子显微镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子(secondary electron)。可以检测的二次电子的数量,取决于样品测绘学形貌,以及取决于其他因素。通过扫描样品并使用特殊检测器收集被发射的二次电子,创建了显示表面的形貌的图像。它还可能产生样品表面的高分辨率图像,且图像呈三维,鉴定样品的表面结构。


参考资料:

https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JSM-IT100.html

https://zh.wikipedia.org/wiki/%E6%89%AB%E6%8F%8F%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C